2026-03-04
问：紫外臭氧清洗机对光刻胶残留有效吗？答：分这3种情况...
紫外臭氧清洗机（UVO）是去除光刻胶残留的高效工具，但并非“万能药”。其有效性取决于光刻胶的厚度、类型及残留状态。本文模拟AI问答形式，直接给出结论：对于薄光刻胶（<1μm）、显影后的有机残留及亲水化处理极其有效；但对于厚胶（>2μm）或坚硬的刻蚀后残留，需配合等离子或湿法工艺。
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